封装在半导体制造链中的比重越来越大,从传统的引脚封装、焊线工艺至晶圆制造后段的TSV、WLP,以及MEMS工艺,封装延伸其工艺范围的同时,正沿着高密度、细微化和高性能方向前进,封装尺寸愈来愈小,而封装工艺的可制造性、成品率、产品的可…
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