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  • 深亚微米时代的成品率控制
    时间：2008-05-29  14:00-15:30
    地点：webcast.sichinamag.com

    当晶体管的密度和速度随着人们对器件性能的需求而不断提升时，深亚微米时代，半导体工艺制造对成品率显得更加的敏感。工艺设备和各种检测设备推陈出新，在提高生产效率的同时，成品率的提升也成了关键，而不断引入的新材料对成品率的影响也日益…

     

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