当晶体管的密度和速度随着人们对器件性能的需求而不断提升时，深亚微米时代，半导体工艺制造对成品率显得更加的敏感。工艺设备和各种检测设备推陈出新，在提高生产效率的同时，成品率的提升也成了关键，而不断引入的新材料对成品率的影响也日益…
半导体产业发展至今，大部分时间内Al 互连技术都扮演了极为重要的角色，铝材料和SiO2一直作为制造集成电路中的微连线或配线；0.13微米以下的设计标准中，采用铝微连线制造的器件开始在可靠性方面出现问题，基于双大马士革的铜互连工艺应运而生，…