当晶体管的密度和速度随着人们对器件性能的需求而不断提升时,深亚微米时代,半导体工艺制造对成品率显得更加的敏感。工艺设备和各种检测设备推陈出新,在提高生产效率的同时,成品率的提升也成了关键,而不断引入的新材料对成品率的影响也日益…
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